Ko svetloba vstopi v razdelilnik žarkov, lahko navadno svetlobo glede na valovno dolžino razdelimo na naslednje tri vrste:
Blizu UV (blizu UV): 200-380nm
Sesalnik UV< vuv=""> : 10-200nm
Ekstremno ultravijolično, ekstremno ultravijolično (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10nm

